DIN 32564-3-2004
Производственное оборудование для микросистем. Термины и определения. Часть 3. Уход, хранение и транспортировка
Статус: Дата введения в действие: 01.05.2004
Обозначение | DIN 32564-3-2004 |
---|---|
Заглавие на русском языке | Производственное оборудование для микросистем. Термины и определения. Часть 3. Уход, хранение и транспортировка |
Заглавие на английском языке | Production equipment for micro-systems - Terms and definitions - Part 3: Handling, storage and transport |
Дата опубликования | 01.05.2004 |
МКС | 01.040.39*39.020 |
Вид стандарта | ST |
Обозначение заменяемого(ых) | DIN 32564-3(2003-06) |
Язык оригинала | немецкий |
Количество страниц оригинала | 5 |
Перекрестные ссылки | DIN 65099-9(1989-11)* DIN EN ISO 8373(1996-08)* VDI 2860(1990-05)* |
Код цены | Preisgruppe 6 |