ГОСТ Р 8.630-2007

Государственная система обеспечения единства измерений. Микроскопы сканирующие зондовые атомно-силовые. Методика поверки

Статус: Действует   Дата введения в действие: 01.02.2008


Обозначение

ГОСТ Р 8.630-2007

Полное обозначение

ГОСТ Р 8.630-2007

Заглавие на русском языке

Государственная система обеспечения единства измерений. Микроскопы сканирующие зондовые атомно-силовые. Методика поверки

Заглавие на английском языке

State system for ensuring the uniformity of measurements. Atomic-force scanning probe microscopes. Methods for verification

Дата введения в действие

01.02.2008

ОКС

17.040.01

Код КГС

Т88

Аннотация (область применения)

Настоящий стандарт распространяется на сканирующие зондовые атомно-силовые измерительные микроскопы, применяемые для измерений линейных размеров в диапазоне от 10 в ст. минус 9 до 10 в ст. минус 6 м, и устанавливает методику их первичной и периодических поверок с использованием рельефных мер по ГОСТ Р 8.628 и ГОСТ Р 8.629. Межповерочный интервал микроскопа - один год

Ключевые слова

длина;рельефные меры нанометрового диапазона;сканирующие зондовые атомно-силовые измерительные микроскопы;методика поверки

Термины и определения

Раздел стандарта

Вид стандарта

1 - Основополагающие стандарты

Дескрипторы (английский язык)

state system, uniformity ensuring, measurements, atomic-force scanning probe, measuring microscopes, verification

Нормативные ссылки на: ГОСТ

ГОСТ Р 8.628-2007; ГОСТ Р 8.629-2007; ГОСТ Р ИСО 14644-2-2001; ГОСТ Р ИСО 14644-5-2005; ГОСТ 12.2.061-81; ГОСТ ИСО 14644-1-2002;

Управление Ростехрегулирования

2 - Управление метрологии

Технический комитет России

441 - Нанотехнологии

Дата последнего издания

08.02.2011

Номер(а) изменении(й)

переиздание с изм. 1

Количество страниц (оригинала)

15

Организация - Разработчик

Открытое акционерное общество "Научно-исследовательский центр по изучению свойств поверхности и вакуума"

Статус

Действует

Код цены

2