IEC 62047-32(2019)
Приборы полупроводниковые. Микроэлектромеханические приборы. Часть 32. Метод определения нелинейных колебаний резонаторов микроэлектромеханических систем (MEMS)
Статус: Действует Дата введения в действие: 24.01.2019
Обозначение | IEC 62047-32(2019) |
---|---|
Заглавие на русском языке | Приборы полупроводниковые. Микроэлектромеханические приборы. Часть 32. Метод определения нелинейных колебаний резонаторов микроэлектромеханических систем (MEMS) |
Заглавие на английском языке | Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 32: Test method for the nonlinear vibration of MEMS resonators |
МКС | 31.080.99 |
Вид стандарта | ST |
Дата опубликования | 24.01.2019 |
Язык оригинала | английский;французский |
Количество страниц оригинала | 37 |
ТК – разработчик стандарта | TC 47/SC 47F |
Номер издания | 1.0 |
Статус | Действует |
Код цены | E |