IEC 62047-44(2024)
Приборы полупроводниковые. Микроэлектромеханические приборы. Часть 44. Методы измерения динамических характеристик МЭМС-резонаторов, чувствительных к электрическому полю
Статус: Действует Дата введения в действие: 22.02.2024
Обозначение | IEC 62047-44(2024) |
---|---|
Заглавие на русском языке | Приборы полупроводниковые. Микроэлектромеханические приборы. Часть 44. Методы измерения динамических характеристик МЭМС-резонаторов, чувствительных к электрическому полю |
Заглавие на английском языке | Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 44: Test methods for dynamic performances of MEMS resonant electric-field-sensitive devices |
МКС | 31.080.99 |
Вид стандарта | ST |
Дата опубликования | 22.02.2024 |
Язык оригинала | английский |
Количество страниц оригинала | 19 |
ТК – разработчик стандарта | TC 47/SC 47F |
Номер издания | 1.0 |
Статус | Действует |
Код цены | E |